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楔形鏡中微楔形鏡的技術研究分析
微楔形鏡的加工不能像平行平麵元件那樣,采用大塊拋光,切片分割的辦法.針對零件尺寸小、精度要求高的特點,研究了加工過程中的粘結上盤、麵形精度控製和 楔形角檢測等技術,設計了吸附式粘結上盤和楔形角測量等專用裝置,應用於尺寸為3×3×1mm(6°)的Nd:YVO4(摻釹釩酸釔)晶體批量生產中,提 高了零件的麵形精度和加工可靠性.測試結果表明:麵形精度優於λ/10(λ=632.8nm),表麵光潔度達0/0級,楔形角合格率達98％以上.
